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  • 产品名称：OMRON欧姆龙 EE-SPY802 晶圆片托架落座传感器

  • 产品型号：
  • 产品厂商：OMRON欧姆龙
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OMRON欧姆龙 EE-SPY802 晶圆片托架落座传感器

EE-SPY801 / 802

晶圆片托架落座传感器

EE-SPY801 / 802

晶圆片托架的落座检测

  • 特点

通过与导槽并用的方式设定落座位置

与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

采用抗干扰光的变调光方式

使用环保导线（无滑石粉）

  • 种类

本体

 

形状 形状检测方式 检测距离 动作模式 导线长 型号
1171_lu_1_1
反射型 0~3mm
（红外光） 		有晶圆片托架时ON 2ｍ EE-SPY801 2M
1171_lu_1_2
EE-SPY802 2M

 

附件（另售）

 

名称 型号
导槽 EE9-C01
EE9-C02

 

注： 不具备传感器的功能。

  • 额定值 / 性能
项目 型号 EE- SPY801/802
检测距离
(标准检测物体) 		0～5mm (反射率90% 白色画纸15×15mm2)
0～3mm (反射率10% 黑纸15×15mm2)
检测物体 晶圆片托架(透明物体、不透明物体)
动作指示灯 物体检测时亮灯(橙色)
光源(*大发光波长) GaAs红外发光二级管(940nm)
电源电压 DC12～24V±10% 纹波(p-p) 5%以下
消耗电流 30mA以下
控制输出 NPN集电极开路输出、DC5～24V、100mA以下、关机电流0.5mA以下
残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时)
残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时)
响应时间 5ms以下
使用环境照度 受光面照度 白炽灯、太阳光：各3,000lx以下
环境温度范围 工作时：-10～+55℃、保存时：-25～+65℃ (无结冰)
环境温度范围 工作时：5～85%RH、保存时：5～95%RH (无结露)
振动(耐久) 1～500Hz 单振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次扫频、11min/扫频
冲击(耐久) 500m/s2 X、Y、Z各方向 3次
保护结构 IEC规格 IP30
连接方式 导线引出型(标准导线长2m)
质量(包装后) 本体(传感器)：约43g、附件(导槽)：约9g
材质 外壳 四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE)
底板 聚苯二甲酸丁二醇酯
附件 使用说明书

 

  • 外形尺寸

（单位：mm）

本体

 

EE-SPY801

 

EE-SPY801 / 802 外形尺寸 2 EE-SPY801

 

EE-SPY802

 

EE-SPY801 / 802 外形尺寸 3 EE-SPY802

附件（另售）

导槽
EE9-C01

EE-SPY801 / 802 外形尺寸 5 EE9-C01

导槽
EE9-C02

EE-SPY801 / 802 外形尺寸 6 EE9-C02







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