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  • 产品名称：Panasonic松下 HD-T1 LED型晶圆校准传感器

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  • 产品厂商：Panasonic松下
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Panasonic松下 HD-T1 LED型晶圆校准传感器

使用**的LED光确保分辨率30μm下的高精度检测

LED型晶圆校准传感器 HD-T1
CE Marking UKCA

 

特点

无需任何**措施

使用**的红色LED作为光源，无需任何繁杂的**措施。无需使用激光时必备的保护罩，在美国使用时不需要符合FDA标准。

施工简便

使用ONE SHOT连接器将检测头与控制器连接。配线工时降至*低限度，维护轻松。

施工简便

低消耗电流70mA以下

检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。

高分辨率30μm

虽然使用红色LED作为光源，但仍然具有激光传感器同样的高性能，因此可实现高精度检测。

无需光轴调整

投、受光部一体型，无需繁琐的光轴调整。并且，检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域，可对应各种不同尺寸的晶圆。

配备系数和偏移量调整功能

模拟输出(1～5V)除了系数调整功能之外，还具备方便的偏移调整功能，可在±0.5V的范围内转换模拟电压。

配备系数和偏移量调整功能

用途

检测晶圆的偏心、凹陷
检测晶圆的偏心、凹陷

种类

检测头

形状 检测距离 检测宽度 型号
30mm(固定)
(注1) 		30mm HD-T1030
(注1)： 出厂时固定于安装基座状态下的值。

控制器

检测头与控制器必须配套使用。

形状 型号 输出
HD-T1C 模拟电压
・输出电压：1～5V

规格

检测头

型号 HD-T1030
适用控制器 HD-T1C
检测宽度 30mm(直线性按照28mm的宽度规定)
检测距离 30mm(固定)(注2)
环
境
性
能 		保护构造 IP40(IEC)
使用环境温度 0～+40℃(注意不可结露)，存储时：-20～+55℃
使用环境湿度 35～85%RH、存储时：35～85%RH
使用环境照明度 白炽灯：受光面照明度3,000lx以下、荧光灯：受光面照明度3,000lx以下
耐电压 AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间
绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10～150Hz　双振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 加速度490m/s2(约50G)　X,Y和Z方向各3次
投光元件 红色LED(投光波峰波长：650nm)
受光元件 光电二极管
材质 本体外壳：PEI、前罩部：玻璃、安装基座：铝
电缆 耐热PVC电缆0.5m末端带连接器
重量 本体重量：约150g

(注1)： 无指定的测量条件为使用环境温度+20℃。
(注2)： 出厂时固定于安装基座状态下的值。

控制器

型号 HD-T1C
适用检测头 HD-T1030
电源电压 24V DC±10%　脉动P-P10%以下
消耗电流 70mA以下(含检测头)
模拟输出 模拟电压
・输出电压：1±0.5V(全遮光时)～5±0.5V(全入光时)
・输出阻抗：75Ω
反应时间 0.5ms以下(8V/ms以上)
分辨率 30μm(注2)
直线性 ±1.0%F.S.(检测位置中心的检测宽度28mm)(注3)
温度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)
量程调整功能 装备15圈无限制调节器，可调整模拟输出电压的量程
转移调整功能 装备15圈无限制调节器，可调整模拟输出电压的偏置
预热时间 30分以上
环
境
性
能 		保护构造 IP40(IEC)
使用环境温度 0～＋40℃(注意不可结露)，存储时：－20～＋70℃
使用环境湿度 35～85％RH，存储时：35～85％RH
耐电压 AC1,000V 1分钟　所有电源连接端子与外壳之间
绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10～150Hz　双振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 频率490m/s2(约50G)　X,Y和Z方向各3次
材质 本体外壳：耐热ABS，连接器外罩部：耐热ABS，调节器外罩部：聚碳酸酯
电缆 0.22mm2 3芯耐热PVC电缆，长0.3m
电缆延长 0.3mm2以上的电缆全长可延长至3m
重量 本体重量：约85g

(注1)： 无指定的测量条件为使用环境温度+20℃。
(注2)： 分辨率为模拟输出的峰值～峰值距离换算值(20MHz以下带域)。
(注3)： 检测头和控制器组合后测定时的代表示例。

尺寸图

  • 单位mm

HD-T1030

检测头

HD-T1030

HD-T1C

控制器

HD-T1C

回路・连接

输入・输出电路图(控制器)

输入・输出电路图(控制器)
(注1): 模拟输出未装备短路保护电路。
请勿直接连接电源或容性负载。
符号・・・ D:电源逆接保护用二极管
ZD:电涌电压吸收用齐纳二极管

端子排列图(控制器)

端子排列图(控制器)
端子No. 内容
1 +V 投光器侧
2 0V
3 投光脉冲
4 屏蔽
5 屏蔽 受光器侧
6 受光信号
7 0V
8 +V

使用注意事项











电话：0755-83512170；手机：13249819590；QQ:2577758288；邮箱：2577758288@qq.com